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金刚砂搅拌器提高金刚砂晶片的切割和研磨质量
发布时间:2022-05-17 16:05:51 浏览
金刚砂搅拌器提高金刚砂晶片的切割和研磨质量

金刚砂是晶圆切割和研磨过程中的主要研磨材料,与悬浮剂按比例混合后。金刚砂是否均匀分布在悬浮剂中,将直接影响研磨和切割质量。

在晶圆切割和研磨工厂,许多机器经常同时工作,以提高效率和产量。目前,在晶圆切割和研磨过程中,操作人员主要是按照操作说明书中的比例要求给每台切割或研磨机分配金刚砂切割和研磨液,没有时间让金刚砂与悬浮液充分融合,金刚砂与悬浮剂的比例是任意的,不能保证切割晶圆的平行度和平滑度;研磨晶片时,不能保证机器的浸没速度一致。由于金刚砂与助悬剂没有完全结合,晶圆研磨时容易出现划痕和条纹,金刚砂容易沉淀,使得助悬剂中金刚砂的比例在沉没和切割过程中发生变化,影响产品质量,造成金刚砂的浪费

为解决上述不足,提出一种金刚砂搅拌器,具有一侧壁下方设置有水笼头的桶体,其特征在于:桶体上方设置有电机,电机下方联接伸入桶体内的搅拌轴,搅拌轴下方连接搅拌框。

搅拌架的平面与搅拌轴轴向平行。

搅拌架内设有多个搅拌棒。

搅拌棒与搅拌轴轴向平行。

该金刚砂搅拌器能为多台切割和研磨设备提供混合均匀的、比例一致的金刚砂悬浮溶,保证金刚砂的不沉淀,提高了晶片的切割和研磨质量。
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